Visoko stopnjo osnovne natančnosti ZEISS PRISMO ultra zagotavljajo številne sodobne funkcije in popravila. Mednje spadajo toplotna kompenzacija upogibanja, aktivni pnevmatski sistem blaženja, izboljšani zračni ležaji in letvice ZERODUR® z ločljivostjo 20 nm – za izjemno natančnost in stabilnost. Nadaljnje izboljšave računalniško podprte natančnosti, kot so optimizirano umerjanje tenzorja, kompenzacija upogibanja referenčne kroglice in popravila za meritve RT, zagotavljajo največjo natančnost tudi pri visokih hitrostih in podpirajo odlično stabilnost KMS, saj ga ščitijo pred motečimi dejavniki.